

我們的加速度計專為軍事、航空航天和工業應用而設計;具有極低的噪聲水平,并且能夠以更高的分辨率進行靈敏的傾斜評估。主要行業包括:控制傾斜角調平平臺(天線對準)、橋梁、建筑和機器傾斜監視器。
傾斜儀,也稱為傾斜傳感器或坡度傳感器,旨在測量物體相對于地球重力矢量的方位角。這些傾斜儀確定俯仰角和/或滾轉角,并通過適當的電氣接口輸出這些值。
我們的面內體微加工方法允許利用全橋電容式傳感配置來抑制寄生,并提高性能,以在±2g和±5g的推薦傳感范圍內實現低于1.2μg/√Hz的噪聲密度。
此外,由于利用了電容器面積變化的概念,平面內設計能夠提高線性度。在SOI晶片處理層中實現的大的檢驗質量有助于提高靈敏度。
當設備傾斜時,這個質量會輕微移動,導致電容變化,角度可以從加速度輸出中計算出來。
應用程序要求
精確角度范圍(±90°)
高精度:±0.02°
高分辨率(0.002°)
應用
天線定位
平臺調平與穩定
水準測量儀器