

芯元(浙江)科技有限公司成立于2018年,宗旨是推動科研成果工程化與產業化、科技項目的商業化運作,致力于全國產化、高性能MEMS慣性傳感器產品。公司建有中科院地質與地球物理研究所嘉善產業化示范基地,姚振興院士工作站。
已開發出應用于石油勘探、微振動檢測、地震預警、結構健康監測、自動駕駛、無人機的具有自主知識產權的高精度MEMS加速度傳感器及MEMS陀螺儀。MEMS加速度計的噪聲性能指標達國際先進水平,填補了國內超低噪聲MEMS加速度傳感器空白,實現國產替代。高精度單軸MEMS陀螺儀采用晶圓級真空封裝技術,高精度 MEMS 工藝制備芯片微結構,可提供優良的動態性能和工作穩定性。